[发明专利]氧化锌膜(ZnO)或氧化镁锌膜(ZnMgO)的成膜方法及氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜装置无效
| 申请号： | 200880131323.7 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN102165097A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 白幡孝洋;织田容征;吉田章男;小仓正久 | 申请（专利权）人： | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 刘多益 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供透射率高的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法。本发明的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法包括：(A)使含有锌或者锌和镁的溶液(4、8)雾化的工序；(B)对基板(2)加热的工序；(C)向加热中的基板的第一主面上供给雾化好的溶液和臭氧的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 zno 氧化镁 znmgo 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，包括：(A)使含有锌或者锌和镁的溶液(4、8)雾化的工序；(B)对基板(2)加热的工序；(C)向所述工序(B)中的所述基板的第一主面上供给所述工序(A)中雾化好的所述溶液和臭氧的工序。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
