[发明专利]氧化锌膜(ZnO)或氧化镁锌膜(ZnMgO)的成膜方法及氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜装置

权利要求书

1.一种氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，包括：

(A)使含有锌或者锌和镁的溶液(4、8)雾化的工序；

(B)对基板(2)加热的工序；

(C)向所述工序(B)中的所述基板的第一主面上供给所述工序(A)中雾化好的所述溶液和臭氧的工序。

2.一种氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，包括：

(V)使含有锌或者锌和镁的溶液(4、8)雾化的工序；

(W)向基板(2)的第一主面上供给所述工序(V)中雾化好的所述溶液及氧或臭氧的工序；

(X)对所述氧或所述臭氧照射紫外光的工序。

3.一种氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，包括：

(V)使含有锌或者锌和镁的溶液(4、8)雾化的工序；

(W)向基板(2)的第一主面上供给所述工序(V)中雾化好的所述溶液及氧或臭氧的工序；

(X)将所述氧或所述臭氧等离子体化的工序。

4.如权利要求2或3所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(W)是向被加热的所述基板供给所述氧或所述臭氧的工序。

5.如权利要求1～3中的任一项所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述溶液中包含含有锌和镁中的任意元素的化合物；

所述化合物是醇盐化合物、β-二酮化合物、羧酸盐化合物、卤素化合物、烷基化合物和环戊二烯基化合物中的至少任一种。

6.如权利要求1～3中的任一项所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述溶液中至少包含硼、氮、氟、铝、磷、氯、镓、砷、铌、铟和锑中的任一种。

7.如权利要求1～3中的任一项所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(A)或(V)是使2种以上的所述溶液分别雾化的工序；

所述工序(C)或(W)是同时或依次或交替地供给不同的所述溶液的工序。

8.如权利要求1所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(C)是同时或交替地供给所述溶液和所述臭氧的工序。

9.如权利要求2或3所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(W)是同时或交替地供给所述溶液及所述氧或所述臭氧的工序。

10.如权利要求1所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(C)是经过不同的通路(L1、L2)来供给所述溶液和所述臭氧的工序。

11.如权利要求2或3所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(W)是经过不同的通路(L1、L2)来供给所述溶液及所述氧或所述臭氧的工序。

12.如权利要求1所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(C)是向配置在大气压下的所述基板供给所述溶液和所述臭氧的工序。

13.如权利要求2或3所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(W)是向配置在大气压下的所述基板供给所述溶液及所述氧或所述臭氧的工序。

14.如权利要求1所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(C)是向配置在减压环境下的所述基板供给所述溶液和所述臭氧的工序。

15.如权利要求2或3所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法，其特征在于，

所述工序(W)是向配置在减压环境下的所述基板供给所述溶液及所述氧或所述臭氧的工序。

16.一种氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜装置，其特征在于，

用于实施权利要求1～权利要求15中的任一项所述的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法。