[发明专利]液晶阵列检查装置有效

专利信息
申请号: 200880129872.0 申请日: 2008-06-17
公开(公告)号: CN102066894A 公开(公告)日: 2011-05-18
发明(设计)人: 永井正道 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01M11/00 分类号: G01M11/00;G01N21/88;G02F1/13;G02F1/1368
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种液晶阵列检查装置,二维地对液晶基板上进行扫描并取得拍摄影像,基于取得的拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查,该液晶阵列检查装置包括:平台,载置着液晶基板,并在Y轴方向上往返移动;拍摄装置,与平台隔开地配置于平台的上方位置;拍摄控制部,对拍摄装置的拍摄进行控制;平台驱动部,在Y轴方向上驱动平台;编码器,对平台驱动部的驱动马达的旋转状态进行检测;拍摄开始位置到达检测部,基于编码器的检测量与拍摄范围,检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的往程及返程的拍摄开始位置;以及拍摄开始触发信号生成部,基于拍摄开始位置到达检测部的输出,生成使拍摄控制部的拍摄开始的拍摄开始触发信号。借此,当使液晶基板在Y轴方向上往返移动并进行拍摄时,对往程及返程的拍摄开始位置进行调整。
搜索关键词: 液晶 阵列 检查 装置
【主权项】:
一种液晶阵列检查装置,二维地对液晶基板上进行扫描并取得拍摄影像,基于所述拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查,其特征在于包括:平台,载置着所述液晶基板,并在Y轴方向上往返移动;拍摄装置,与所述平台隔开地配置于所述平台的上方位置;拍摄控制部,对所述拍摄装置的拍摄进行控制;平台驱动部,在Y轴方向上驱动所述平台;编码器,对所述平台驱动部的驱动马达的旋转状态进行检测;拍摄开始位置到达检测部,基于所述编码器的检测量与拍摄范围,检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的往程及返程的拍摄开始位置;以及拍摄开始触发信号生成部,基于所述拍摄开始位置到达检测部的输出,生成使所述拍摄控制部的拍摄开始的拍摄开始触发信号,所述拍摄控制部接收所述拍摄开始触发信号生成部所生成的开始触发信号,使拍摄装置开始拍摄,借此来使平台的往程及返程中的Y轴方向的位置与拍摄装置的拍摄开始位置同步。
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