[发明专利]液晶阵列检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用对液晶基板上进行拍摄而获得的拍摄影像来对液晶阵列进行检查的液晶阵列检查装置，本发明特别涉及如下的液晶阵列检查装置，该液晶阵列检查装置使液晶基板在Y轴方向上往返移动，在往程及返程中沿着X轴方向进行扫描，并取得拍摄影像。

背景技术

对于液晶阵列检查装置而言，作为对液晶基板上进行拍摄而获得的拍摄影像，可使用以光学方式进行拍摄而获得的光学拍摄影像、或者在基板上二维地扫描电子光束或离子光束等的带电粒子光束而获得的扫描影像。

例如，如下的基板检查装置已为人所知，该基板检查装置是将检查信号施加至检查对象的液晶基板的阵列，在基板上二维地扫描电子光束或离子光束等的带电粒子光束，基于光束扫描所获得的扫描影像来进行基板检查。

在用于薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)显示(display)装置的TFT阵列基板的制造步骤中，检查所制造的TFT阵列基板是否正确地驱动，但在该TFT阵列基板检查中，使用例如电子光束作为带电粒子光束，借由对TFT阵列基板进行扫描来取得扫描影像，并基于该扫描影像来进行检查(专利文献1、专利文献2)。

为了使电子光束在液晶基板上二维地对阵列进行扫描，须使电子光束在X轴方向上摆动，并且使平台(stage)在Y轴方向上移动。

对于该利用了电子光束的扫描与平台的移动的扫描而言，从单一的电子枪照射出的电子光束能够以高精度来进行扫描而得的扫描宽度存在极限，因此，如下的构成已为人所知，即，将一个基板所具有的全部的扫描范围分成多个部分，并针对各部分来设置电子枪。而且，如下的控制方法已为人所知，即，将各电子枪的扫描范围分成排列在X轴方向上的多个路径(path)，在各路径内，交替地进行与液晶基板的1个像素(pixel)的Y轴方向的宽度相当的进给宽度的平台进给、及与1个像素的X轴方向的宽度相当的扫描宽度的光束扫描，借此来取得路径内的扫描影像。

图11(a)～图11(c)是用以对液晶基板上的电子光束的扫描进行说明的图。在图11(a)～图11(c)中，将多个电子枪(GUN1、GUN2、...)以规定间隔配置在液晶基板的X轴方向上，从该电子枪将电子光束照射至液晶基板上。在该电子光束的照射过程中，各电子枪在设定于液晶基板上的多个路径(在图11(a)～图11(c)中为路径1～路径4)的一个路径内，以扫描宽度Dx的宽度来扫描电子光束。借由电子枪的电子光束的摆动的动作，以路径为单位来扫描所述电子光束，在使一个路径向往程方向移动并进行拍摄之后，使平台移动，使相邻接的路径向返程方向移动并进行拍摄。在该平台移动时，仅移动与路径的宽度相当的平台移动宽度Lx。

图11(b)表示路径2的扫描状态，在往程中对图11(a)所示的路径1进行扫描并拍摄之后，使平台仅移动平台移动宽度Lx，接着在返程中对路径2进行扫描并拍摄。另外，图11(c)表示如下的状态，即，使平台从图11(b)的位置起仅移动平台移动宽度Lx，在往程中对路径3进行扫描并拍摄。如此，对设定于液晶基板上的全部的路径进行扫描。

在各路径的扫描中，利用拍摄装置来对液晶基板进行拍摄并取得拍摄影像。借由将在各扫描中所拍摄的拍摄影像加以组合来取得整个基板的拍摄影像。

将X轴方向的扫描与Y轴方向的平台的移动加以组合，借此来二维地对液晶基板进行拍摄。

在平台的Y轴方向的移动过程中，基于平台位置来对拍摄位置进行定位。借由该平台位置来对拍摄位置进行定位时，先前，将编码器(encoder)连结于可对平台进行驱动的驱动马达(motor)，使用该编码器的Z相信号来确定拍摄开始位置。

专利文献1：日本专利特开2004-271516号公报

专利文献2：日本专利特开2004-309488号公报

编码器的Z相信号是马达旋转一周仅输出一次的信号。因此，例如，当由于马达旋转一周，滚珠丝杠(ball screw)移动一个螺距(lead length)单位时，拍摄开始位置的定位精度为一个螺距单位。

对于滚珠丝杠的螺距而言，例如16mm的螺距已为人所知。当使用此种滚珠丝杠来对平台进行驱动时，拍摄开始位置的定位仅能够以16mm的间隔来进行位置调整。为了进行比滚珠丝杠的螺距更微小的定位，必须机械性地对马达本身的安装位置进行调整。