[发明专利]角速度传感器

摘要

一种角速度传感器，在基板(2)的表面，相对中心点(O)呈点对称的位置上设置驱动质量部(4～7)。驱动质量部(4～7)彼此连结连结梁(8)。连结梁(8)使用连接部(9～12)和驱动梁(13～16)来可弯曲地支承。在驱动质量部(4～7)的内侧设置检测质量部(22～25)，检测质量部(22～25)使用检测梁(26～29)而在Z轴方向上可移位地支承。在圆周方向上相邻的驱动质量部(4～7)通过振动产生部(17～20)彼此以相反相位振动。在该状态下，施加角速度(Ω1、Ω2)，则检测质量部(22～25)沿基板(2)的厚度方向移位并振动。移位检测部(30～33)检测厚度方向上的检测质量部(22～25)的移位。

主权项

一种角速度传感器，由以下单元构成：基板；四个驱动质量部，与该基板间隔对置，并且配置在以中心部作为中心的圆周方向的不同位置上，且配置在相对于中心部呈点对称的位置上；连结梁，其相互连结这四个驱动质量部，在这四个驱动质量部朝向与所述基板平行的方向移位时会弯曲变形；四个连接部，以所述中心部作为中心而延伸为放射状，并且分别位于在圆周方向上相邻的两个驱动质量部之间且连接于该连结梁；驱动梁，其分别设置在这四个连接部上，且在所述连结梁弯曲变形时，按照在长度方向上可使各连接部移位的方式支承各连接部；驱动单元，其在圆周方向上相邻的驱动质量部成为相反相位的状态下，使所述四个驱动质量部朝向包围中心部的圆周方向振动；检测质量部，其分别设置在所述四个驱动质量部中；检测梁，其设置在该检测质量部和所述驱动质量部之间，且按照在基板的厚度方向上可使检测质量部移位的方式支承该检测质量部；和移位检测单元，其检测所述检测质量部在所述基板的厚度方向上的移位。