[发明专利]角速度传感器

权利要求书

1.一种角速度传感器，由以下单元构成：

基板；

四个驱动质量部，与该基板间隔对置，并且配置在以中心部作为中心的圆周方向的不同位置上，且配置在相对于中心部呈点对称的位置上；

连结梁，其相互连结这四个驱动质量部，在这四个驱动质量部朝向与所述基板平行的方向移位时会弯曲变形；

四个连接部，以所述中心部作为中心而延伸为放射状，并且分别位于在圆周方向上相邻的两个驱动质量部之间且连接于该连结梁；

驱动梁，其分别设置在这四个连接部上，且在所述连结梁弯曲变形时，按照在长度方向上可使各连接部移位的方式支承各连接部；

驱动单元，其在圆周方向上相邻的驱动质量部成为相反相位的状态下，使所述四个驱动质量部朝向包围中心部的圆周方向振动；

检测质量部，其分别设置在所述四个驱动质量部中；

检测梁，其设置在该检测质量部和所述驱动质量部之间，且按照在基板的厚度方向上可使检测质量部移位的方式支承该检测质量部；和

移位检测单元，其检测所述检测质量部在所述基板的厚度方向上的移位。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，

所述检测梁朝向包围所述中心部的圆周方向延伸，且使用扭转支承梁而形成，该扭转支承梁在所述检测质量部沿基板的厚度方向移位时扭转变形。

3.根据权利要求2所述的角速度传感器，其中，

所述检测梁构成为：使用在扭转变形时降低作用于该检测梁的端部侧的应力的应力降低连接部，分别与所述检测质量部和驱动质量部连接。

4.根据权利要求1、2或3所述的角速度传感器，其中，

所述连结梁构成为被设置在由所述四个驱动质量部包围的中心部侧。

5.根据权利要求1、2或3所述的角速度传感器，其中，

所述驱动单元由设置在所述驱动质量部的可动侧驱动电极和与该可动侧驱动电极对置地设置在所述基板上的固定侧驱动电极构成，并且通过作用于可动侧驱动电极和固定侧驱动电极之间的静电力，使所述驱动质量部振动。

6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其中，

所述移位检测单元使用在厚度方向上与所述检测质量部对置的固定侧检测电极而构成，

该移位检测单元的固定侧检测电极电连接于设置在所述基板上的检测用连接盘，

所述驱动单元的固定侧驱动电极电连接于设置在所述基板上的驱动用连接盘，

在该驱动用连接盘和检测用连接盘之间，设置用于阻断信号的干扰的屏蔽连接盘。

7.根据权利要求1、2或3所述的角速度传感器，其中，

所述驱动单元由设置在所述连结梁中的可动侧驱动电极和与该可动侧驱动电极对置地设置在所述基板上的固定侧驱动电极构成，并且通过作用于可动侧驱动电极和固定侧驱动电极之间的静电力，使所述连结梁弯曲变形，从而使所述驱动质量部振动。

8.根据权利要求1、2或3所述的角速度传感器，其中，

在所述驱动质量部的周围，设置用于监视该驱动质量部的振动方向的移位的监视单元，

该监视单元由设置在所述驱动质量部上的可动侧监视电极和与该可动侧监视电极对置地设置在所述基板上的固定侧监视电极构成，并且通过使用可动侧监视电极和固定侧监视电极之间的静电电容，检测所述驱动质量部的移位。