[发明专利]液体排出头的制造方法无效
| 申请号： | 200880120539.3 | 申请日： | 2008-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101896352A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 芝昭二;石塚一成;富永康亮 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/05 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种用于制造液体排出头的方法，该液体排出头在基板上或上方包含与排出端口连接的流动路径形成部件，该方法包括：在基板上或上方设置包含感光树脂的层；在包含感光树脂的层上的与流动路径对应的区域处设置使得能够减少具有感光树脂的感光波长的光的透射的掩模层；使用掩模层对于包含感光树脂的层执行曝光，以使得包含感光树脂的层成为具有流动路径的形状的图案；设置变成流动路径形成部件的层以覆盖图案；在所述的变成流动路径形成部件的层的一部分处形成排出端口；和通过去除图案形成流动路径。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 出头 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造液体排出头的方法，该液体排出头在基板上或上方包含用于形成可连通地与排出液体的排出端口连接的流动路径的流动路径形成部件，该方法包括：在基板上或上方设置包含感光树脂的层；在所述包含感光树脂的层上的与流动路径对应的区域处设置使得能够减少具有感光树脂的感光波长的光的透射的掩模层；使用掩模层作为掩模对于包含感光树脂的层执行曝光，以使得所述包含感光树脂的层成为具有所述流动路径的形状的图案；设置变成流动路径形成部件的层以覆盖所述图案；在所述变成流动路径形成部件的层的一部分处形成排出端口；和通过去除所述图案形成所述流动路径。
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