[发明专利]液体排出头的制造方法

权利要求书

1.一种用于制造液体排出头的方法，该液体排出头在基板上或上方包含用于形成可连通地与排出液体的排出端口连接的流动路径的流动路径形成部件，该方法包括：

在基板上或上方设置包含感光树脂的层；

在所述包含感光树脂的层上的与流动路径对应的区域处设置使得能够减少具有感光树脂的感光波长的光的透射的掩模层；

使用掩模层作为掩模对于包含感光树脂的层执行曝光，以使得所述包含感光树脂的层成为具有所述流动路径的形状的图案；

设置变成流动路径形成部件的层以覆盖所述图案；

在所述变成流动路径形成部件的层的一部分处形成排出端口；和

通过去除所述图案形成所述流动路径。

2.根据权利要求1的方法，其中，

所述感光树脂是正感光树脂。

3.根据权利要求1的方法，其中，

设置掩模层还包含：

在感光树脂上设置用于形成所述掩模层的包含二嗪农萘醌衍生物和羟基二苯甲酮化合物的层；和

对于包含二嗪农萘醌衍生物和羟基二苯甲酮化合物的所述层，执行包含曝光的构图，以由此形成所述掩模层。

4.根据权利要求1的方法，其中，在曝光之后，与经受曝光的感光树脂的一部分一起去除掩模层。

5.根据权利要求1的方法，其中，所述掩模层包含两个层。

6.根据权利要求3的方法，其中，羟基二苯甲酮化合物是2-羟基-4-正辛氧基二苯甲酮。

7.根据权利要求3的方法，其中，使用i射线对于包含二嗪农萘醌衍生物和羟基二苯甲酮化合物的所述层执行曝光。

8.根据权利要求1的方法，其中，在所述包含感光树脂的层上的与流动路径对应的区域处设置使得能够减少具有感光树脂的感光波长的光的透射的掩模层包含：

在基板上或上方设置包含感光树脂的第一层和设置在第一层上的包含感光树脂的第二层；和

在第二层上设置所述掩模层。

9.根据权利要求1的方法，其中，在所述包含感光树脂的层上的与流动路径对应的区域处设置使得能够减少具有感光树脂的感光波长的光的透射的掩模层包含：

在基板上或上方设置包含感光树脂的第一层和设置在第一层上的图案，该图案具有所述流动路径的一部分的形状；和

设置所述掩模层以覆盖具有所述流动路径的一部分的形状的所述图案和第一层。