[发明专利]旋转磁控管的任意扫描路径的控制有效
| 申请号： | 200880118395.8 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101878321A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 张铀;威廉·匡;罗纳德·D·迪多尔;吉坦德拉·R·布希姆吉亚尼;威斯利·W·张 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;杨文娟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于控制两个马达(32、36)的控制系统及方法，其决定一磁控管(42)的方位角及圆周位置，该磁控管(42)绕着在其溅射靶(18)背部中的溅射腔室(10)的中心轴(14)旋转，且能例如用一行星齿轮机构具有几乎任意扫描路径。一系统控制器(88)周期性地传送命令至密切地控制马达的运动控制器(150)。各命令包括一命令单，其可为多个值之一。该运动控制器仅接收具有一不同于紧接着先前命令的值的命令单的命令。一个命令选择储存在运动控制器中的扫描轮廓，其从选定轮廓计算马达信号。另一命令指示一动态归航命令，其询问传感器(166、174)以决定两旋转臂(190、192)是在预期位置中还是需要再归航。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 磁控管 任意 扫描 路径 控制 | ||
【主权项】：
一种控制机构，其用于控制在溅射腔室中的磁控管的运动，该溅射腔室具有扫描机构，其用于允许该磁控管绕着中心轴的方位角及径向运动，该控制机构包含：两个马达，其机械地耦合至该扫描机构；及运动控制器，其通过轮询通信链路连接至系统控制器并接收命令用于该磁控管的扫描路径，且分离地控制所述两个马达的旋转速率及其间的旋转相位。
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