[发明专利]旋转磁控管的任意扫描路径的控制

权利要求书

1.一种控制机构，其用于控制在溅射腔室中的磁控管的运动，该溅射腔室具有扫描机构，其用于允许该磁控管绕着中心轴的方位角及径向运动，该控制机构包含：

两个马达，其机械地耦合至该扫描机构；及

运动控制器，其通过轮询通信链路连接至系统控制器并接收命令用于该磁控管的扫描路径，且分离地控制所述两个马达的旋转速率及其间的旋转相位。

2.如权利要求1所述的控制机构，该控制机构还包含两个驱动电路，其在该运动控制器与这些马达的各个马达间连接。

3.如权利要求2所述的控制机构，其中这些马达是伺服马达，且这些驱动电路从各个马达接收译码器信号。

4.如权利要求1至3中任一所述的控制机构，

其中该运动控制器包括一内存，其记录有用于该扫描路径的多个扫描轮廓；

其中从该系统控制器传送的轮廓命令选择一扫描轮廓；及

其中该运动控制器依据该选择的轮廓控制该旋转速率及该旋转相位。

5.如权利要求4所述的控制机构，其中该扫描轮廓包括多个成对的时间及该旋转相位。

6.如权利要求1至3中任一所述的控制机构，其中这些命令包括一命令单，并且其中该运动控制器储存成为在第一命令中接收的该命令单的第一值且仅当其命令单的一值是除了该第一值以外的可接受值时执行紧接其后的命令。

7.如权利要求1至3中任一所述的控制机构，其还包含：

第一臂，其可绕一中心轴旋转；

第二臂，其可绕一在偏离该中心轴的该第一臂上的枢转轴旋转，并支撑该磁控管在偏离该枢转轴的一点处；

两个传感器，其分别地布置以检测该两臂的出现；

其中这些命令包括一动态归航命令；及

其中该运动控制器响应于该动态归航命令处理来自所述两个传感器的信号，而这些臂在运动中以决定这些臂是否在预定时间于预定位置处。

8.如权利要求7所述的控制机构，其中这些传感器布置在离该中心轴的两个不同半径处。

9.如权利要求8所述的控制机构，其中这些传感器是光学传感器，其每个传感器发射一光束且检测光，且还包含反射器，其布置在该第一及第二臂上。

10.一种控制一两轴扫描机构的方法，其用于在一等离子体溅射腔室中邻近一靶旋转的磁控管，该方法包含以下步骤：

周期性地传送命令至一运动控制器；及

解译在该运动控制器中的这些命令以传送驱动信号到耦合至该扫描机构的两个马达，以执行邻近该靶的该磁控管的扫描路径。

11.如权利要求10所述的方法，其还包含以下步骤：

在该运动控制器中储存多个扫描轮廓之一，

其中这些命令之一是一轮廓命令，其选择这些扫描轮廓之一，且该运动控制器传送该驱动信号，其使得该扫描机构执行对应于该选定的扫描轮廓的该扫描路径。

12.如权利要求10和11中任一所述的方法，其中每个命令包括一命令单，其具有多个操作值之一且其中该运动控制器仅当其命令单具有一不同于紧邻先前传送命令的操作值时才解译该命令。

13.如权利要求10和11中任一所述的方法，其中这些命令之一是一动态归航命令且还包含以下步骤：

当传送该动态归航命令时，该运动控制器询问感应该扫描机构的两部分的位置的两个传感器，以决定这些部分是否于预选定时间在预选定位置处。

14.如权利要求13所述的方法，其中若这些部分未于该预选定时间在该预选定位置处，则再归航该扫描机构。