[发明专利]用于检查物体表面的方法和装置无效
| 申请号： | 200880111202.6 | 申请日： | 2008-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101821581A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 阿内·索门费尔特;波特·雷波姆;托雷弗·雷萨克;托尔·沃赛特 | 申请（专利权）人： | 托蒂瓦尔太阳能公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01B11/30;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 挪威*** | 国省代码： | 挪威;NO |
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| 摘要： | 一种用于检查物体的装置，包括：光源，用于照亮物体；遮蔽装置，布置在所述光源与所述物体之间，用于在所述物体的表面上产生阴影；图像捕获装置，用于捕获所述物体的表面的图像；以及处理单元，用于处理图像数据，以提供所述物体表面的质量的指示。还提供一种用于检查物体的方法：在物体的至少一个表面上提供阴影，捕获包括所述阴影的物体的表面的图像，并且分析所述图像中的阴影的至少一个边缘，以提供所述物体的表面的质量的指示。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 物体 表面 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于检查半导体物体的表面的方法，其特征在于，该方法包括步骤：-在所述物体的至少一个表面上提供数个阴影；-捕获包括所述阴影的物体的表面的图像；-分析所述图像中的阴影的至少两个边缘，以提供所述物体的表面的质量的指示。
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