[发明专利]测定试样电性能的方法

摘要

一种通过利用多点探针进行多次测量，获得包括非导电区和导电或半导电测试区的试样电性能的方法。该方法如下步骤：提供磁力线垂直穿过测试区的磁场；将探针带入到测试区上的第一位置，探针的导电针头与测试区接触，测定每个针头相对非导电区和测试区之间分界线的位置；测定每个针头之间的距离；选择一个针头作为定位在用来测定试样中电压的导电针头之间的电流源，进行第一测量；移动探针并进行第二次测量；基于第一和第二测量计算测试区的电性能。

主权项

一种利用所谓的霍尔效应测定试样电性能的方法，所述的试样包括非导电区和测试区，所述的测试区是导电或半导电测试区域，在所述的非导电区和所述的测试区之间限定分界线，所述方法包括利用测试探针，该测试探针包括具有平整探针表面的探针主体和从所述探针主体延伸的平行于所述平整探针表面的第一多个探针臂，所述探针进一步包括第一多个导电针头，每个针头都被各自的探针臂支撑，所述导电针头用来建立与所述测试区的电连接，所述方法包括以下步骤：提供磁力线垂直穿过所述测试区的磁场；将所述探针带入所述测试区上的第一位置，所述第一多个导电针头与所述测试区接触；测定每个所述第一多个导电针头与所述分界线之间的最短距离；测定每个所述第一多个导电针头之间的距离；选择一个导电针头作为电流源，选择所述一个导电针头以便所述一个导电针头位于用于测定所述试样电压的第一和第二导电针头之间；改变所述一个导电针头和所述分界线的最短距离与所述第一和所述第二导电针头之间距离的比率，进行一系列的测量；基于所述一系列的测量计算所述导电测试区的电性能。