[发明专利]用于在处理室内定位衬底的偏移校正技术

摘要

一种用于将衬底对准支撑机构的处理中心的方法。该方法包括在多个方位和离所述衬底的几何中心的多个径向距离上确定衬底处理后的所述衬底厚度。该方法还包括从衬底厚度和处理持续时间推出一组处理速率值。该方法进一步包括对处理速率创建偏心绘图，其表示一个基本上同心的圆，所述偏心绘图的圆周上的点基本上具有所述第一处理速率。该方法又包括对所述偏心绘图应用曲线拟合方程以确定一组参数。该方法又进一步包括将所述组参数教导给一组机械臂，由此使得所述组机械臂将由所述支撑机构支撑的另一个衬底与所述支撑机构的所述处理中心对准。

主权项

一种用于将衬底对准支撑机构的处理中心的方法，其中所述处理中心代表等离子体处理室中用于处理所述衬底的聚焦中心，该方法包括：在多个方位和离所述衬底的几何中心的多个径向距离上确定衬底处理后所述衬底的多个厚度值；从所述多个厚度值和处理持续时间推出一组处理速率值；对所述组处理速率值的第一处理速率创建偏心绘图，其中所述偏心绘图表示一个基本上同心的圆，所述偏心绘图的圆周上的点基本上具有所述第一处理速率；对所述偏心绘图应用曲线拟合方程以确定一组参数，该组参数用于相对于所述支撑机构偏移所述衬底；以及将所述组参数教导给一组机械臂，由此使得当所述组机械臂在所述等离子体处理室中定位另一个衬底以进行处理时，所述组机械臂将由所述支撑机构支撑的所述另一个衬底与所述支撑机构的所述处理中心对准。