[发明专利]微细形状转印片的制造方法和制造装置有效
申请号: | 200880108724.0 | 申请日: | 2008-09-22 |
公开(公告)号: | CN101808808A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 平井裕磨;箕浦洁;野村文保 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | B29C59/02 | 分类号: | B29C59/02;B29C33/38;B29C33/42;B29C43/02;B29C43/36;H01L21/027 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;田欣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种微细形状转印片的制造方法,其是在压印模具与中间基材之间设置由热塑性树脂制成的片状基材、通过一对加压板加压在该片状基材上形成压印模具微细凹凸形状的制造方法,当该加压板的加压力变为最大时,该压印模具的赋形面内存在赋形压力差,并且该赋形面内存在最大赋形压力部分,而且加压使得赋形压力取极小值的部位不在赋形面内。按照本发明可以得到没有空气滞留不良且均匀高精度的转印成型状态。 | ||
搜索关键词: | 微细 形状 转印片 制造 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种微细形状转印片的制造方法,是通过在具有带有微细凹凸形状的赋形面的压印模具与中间基材之间设置由热塑性树脂制成的片状基材,用一对加压板对该压印模具和该中间基材向该片状基材方向进行加压,从而在该片状基材上赋形微细凹凸形状的微细形状转印片的制造方法,其中,进行加压使得当该加压板的加压力变为最大时,该压印模具的赋形面内存在赋形压力差,并且该赋形面内存在最大赋形压力部分,而且该赋形面内不存在赋形压力取极小值的部位。
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