[发明专利]蒸汽传输系统

摘要

一种传输系统(10)，用于将物质(12)传输至处理室(14)以便涂覆大物品表面从而将特定性质赋予其上，该系统包含：物质容器(16)，其用于容纳从液体物质源(18)供应的物质；蒸发装置(20)，其用于蒸发所述容器中的液体物质；流动引导装置(22，24)，其用于引导蒸发物质流向该处理室；及监控装置(28)，其用于测量物质从所述容器蒸发的随时间的速率，以便可以监控传输至所述处理室的蒸发物质的流量。

主权项

一种用于将物质传输至处理室的传输系统，在使用中，至少一个大物品位于所述处理室中以便将一个或多个性质赋予所述大物品的表面，所述系统包含：物质容器，其用于容纳从液体物质源供应的物质；蒸发装置，其用于蒸发所述容器中的液体物质；流动引导装置，其用于引导蒸发物质流向所述处理室；及监控装置，其用于测量物质从所述容器蒸发的随时间的速率，以便能够监控传输至所述处理室的蒸发物质的流量。