[发明专利]蒸汽传输系统

权利要求书

1.一种用于将物质传输至处理室的传输系统，在使用中，至少一个大物品位于所述处理室中以便将一个或多个性质赋予所述大物品的表面，所述系统包含：

物质容器，其用于容纳从液体物质源供应的物质；

蒸发装置，其用于蒸发所述容器中的液体物质；

流动引导装置，其用于引导蒸发物质流向所述处理室；及

监控装置，其用于测量物质从所述容器蒸发的随时间的速率，以便能够监控传输至所述处理室的蒸发物质的流量。

2.根据权利要求1所述的传输系统，其中所述物质是用于在等离子处理中使用的单体。

3.根据权利要求1或2所述的传输系统，其中所述蒸发装置包含用于加热所述容器中液体物质的加热装置。

4.根据任一项前述权利要求所述的传输系统，其中所述流动引导装置包含：蒸发室，物质能够从所述容器蒸发到所述蒸发室中；和导管，其用于所述蒸发室和所述处理室之间的选择性流体连通以便物质能够选择性地从所述蒸发室传输至所述处理室。

5.根据权利要求4所述的传输系统，其中所述导管包含阀，所述阀用于控制所述室和所述处理室之间的选择性流体连通。

6.根据任一项前述权利要求所述的传输系统，其中所述流动引导装置包含用于减少所述流动引导装置的内表面上的物质冷凝的加热装置。

7.根据任一项前述权利要求所述的传输系统，其中所述监控装置包含称重装置，所述称重装置用于测量所述容器中液体物质的重量随时间的变化。

8.根据权利要求7所述的传输系统，其中所述称重装置包含与所述容器绝热的压力传感器。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的传输系统，其中所述监控装置包含液位传感器，所述液位传感器用于感应所述容器中物质的高度。

10.根据任一项前述权利要求所述的传输系统，包含控制装置，所述控制装置根据所述物质对所述蒸发装置的蒸发的预定特征响应来设置，以便能够根据将要在所述处理室中执行的所需等离子处理来控制所述物质的传输速率。

11.在权利要求10从属于权利要求4或者从属于权利要求4的任一项前述权利要求时根据权利要求10所述的传输系统，其中所述控制装置控制所述排空室和所述处理室之间的流体连通以便能够控制物质从所述排空室向所述处理室的传输。

12.根据任一项前述权利要求所述的传输系统，包含用于选择性地向所述容器供应液体物质的供应导管。

13.在权利要求12从属于权利要求10或从属于权利要求10的任一项前述权利要求时根据权利要求12所述的传输系统，其中所述控制装置能够控制液体物质向所述容器的供应。

14.根据任一项前述权利要求所述的传输系统，包含比较器装置，所述比较器装置用于比较来自所述容器的物质蒸发的监控速率和蒸发的预定特征速率并发出关于所述监控速率和所述预定特征速率之间的差异的信号。

15.根据权利要求14所述的传输系统，其中所述控制装置响应于从所述比较器装置发出的所述信号，并能够控制所述蒸发装置的活化以便将监控速率调整至与所述预定特征速率一致。

16.一种将物质传输至处理室的方法，所述方法包含：

从物质源向容器供应液体物质；

从所述容器蒸发液体物质；

引导蒸发物质流向处理室；及

监控物质从所述容器蒸发的随时间的速率，以便能够将计量流量的蒸发物质传输至所述处理室。

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述物质是用于在等离子处理中使用的单体。

18.根据权利要求16或17所述的方法，其中通过加热所述物质使所述液体物质从所述容器蒸发。

19.根据任一项前述权利要求所述的方法，其中当所述处理室中需要物质进行处理时所述物质被选择性地传输至所述处理室。

20.根据权利要求16至19中任一项所述的方法，其中通过测量所述容器中的液体物质的重量随时间的变化来监控物质的蒸发。

21.根据权利要求16至20中任一项所述的方法，其中通过测量所述容器中的液体物质的高度随时间的变化来监控物质的蒸发。