[发明专利]厚度测定装置有效
| 申请号： | 200880106944.X | 申请日： | 2008-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101802543A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 朴喜载;安祐正;黄映珉;李昌烈;崔智圆 | 申请（专利权）人： | 株式会社SNU精密 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谢顺星 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种厚度测定装置，包括：第一分光器，用于反射或透射从光源照射的光或者由被测对象反射的光；第一透镜部，用于向被测对象会聚光，并生成与所述由被测对象反射到的光存在光路径差的基准光；第二透镜部，用于向被测对象会聚光；干涉光检测器，其与所述第一透镜部相对应形成光路径，并测出通过由所述被测对象反射的光和所述基准光所产生的干涉信号；分光检测器，其与所述第二透镜部相对应形成与通过所述干涉光检测器形成的光路径不同的光路径，并分光由所述被测对象反射的光，以检测出被分光的光的强度和波长；及光路径变换部，有选择地向干涉光检测器或者分光检测器中的其中一侧传送光。第一透镜部和第二透镜部可在光路径上交换位置。 | ||
| 搜索关键词： | 厚度 测定 装置 | ||
【主权项】：
一种厚度测定装置，其特征在于，包括：第一分光器，其用于反射或透射从光源照射的光或者由被测对象反射的光；第一透镜部，其用于向所述被测对象会聚光，并生成与所述由被测对象反射的光存在光路径差的基准光；第二透镜部，其用于向所述被测对象会聚光；干涉光检测器，其与所述第一透镜部相对应形成光路径，并检测由所述被测对象反射的光和所述基准光之间产生的干涉信号；分光检测器，其与所述第二透镜部相对应形成与由所述干涉光检测器形成的光路径不同的光路径，而且分光由所述被测对象反射的光，并检测被分光的光的强度和波长；及光路径变换部，有选择地向所述干涉光检测器或者所述分光检测器传送光，所述第一透镜部和所述第二透镜部可在光路径上交换位置。
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