[发明专利]厚度测定装置

权利要求书

1.一种厚度测定装置，其特征在于，包括：

第一分光器，其用于反射或透射从光源照射的光或者由被测对象 反射的光；

第一透镜部，其用于向所述被测对象会聚光，并生成与所述由被 测对象反射的光存在光路径差的基准光；

第二透镜部，其用于向所述被测对象会聚光；

干涉光检测器，其与所述第一透镜部相对应形成光路径，并检测 由所述被测对象反射的光和所述基准光之间产生的干涉信号；

分光检测器，其与所述第二透镜部相对应形成与由所述干涉光检 测器形成的光路径不同的光路径，而且接收由所述被测对象反射的 光，并检测被接收的光的强度和波长；及

光路径变换部，有选择地向所述干涉光检测器或者所述分光检测 器传送光，

所述第一透镜部和所述第二透镜部可在光路径上交换位置。

2.根据权利要求1所述的厚度测定装置，其特征在于，所述光 路径变换部包括：

反射镜，其用于向所述分光检测器反射光；

反射镜驱动部，其用于移动所述反射镜，以使所述反射镜位于光 路径或者使所述反射镜脱离光路径。

3.根据权利要求2所述的厚度测定装置，其特征在于，进一步 包括：

透镜驱动部，用于有选择地将所述第一透镜部或所述第二透镜部 位于光路径上；

控制部，其用于连动并控制所述反射镜驱动部和所述透镜驱动 部。

4.一种厚度测定装置，其特征在于，包括：

第一分光器，其用于反射或透射从光源照射的光或者由被测对象 反射的光；

第一透镜部，其用于向所述被测对象会聚光，并生成与所述由被 测对象反射的光具有不同光路径的基准光；

第二透镜部，其用于向所述被测对象会聚光；

干涉光检测器，其与所述第一透镜部相对应形成光路径，并检测 由所述被测对象反射的光和所述基准光之间产生的干涉信号；

分光检测器，其与所述第二透镜部相对应形成与所述干涉光检测 器所形成的光路径不同的光路径，并接收由所述被测对象反射的光， 以检测被接收的光的强度和波长；及

第三分光器，其用于向所述干涉光检测器和所述分光检测器分配 并传送光，

所述第一透镜部和所述第二透镜部可在光路径上交换位置。

5.根据权利要求1或4所述的厚度测定装置，其特征在于，进 一步包括有选择地将所述第一透镜部或所述第二透镜部位于光路径 上的透镜驱动部。

6.根据权利要求1所述的厚度测定装置，其特征在于，进一步 包括配置在所述光路径变换部和所述分光检测器之间的光路径上的 针孔及聚光镜中的至少一个。

7.根据权利要求1或4所述的厚度测定装置，其特征在于，所 述第一透镜部包括：

第一聚光镜，其用于向所述被测对象会聚光；

第二分光器，用于反射或者透射从所述第一聚光镜入射的光； 基准反射镜，将从所述第二分光器入射的光重新反射到所述第二分光 器。