[发明专利]使用类金刚石母体在内表面生成金刚石样碳镀层的方法

摘要

本发明涉及采用内表面等离子体增强化学气相沉积和空心阴极技术形成高SP3含量非晶碳镀层的方法。该方法可调整摩擦性能，如硬度、弹性模量、耐磨性和摩擦系数，还可调整光学性能，如折射率。此外，所得镀层均匀，具有高耐腐蚀性。通过控制压力、类金刚石母体的种类和偏置电压，这种新的方法防止了类金刚石母体在撞击基材时完全解体。类金刚石在高压下保留可得高SP3含量膜的SP3键。这样使沉积速率比未使用类金刚石母体可能达到的更快。

主权项

一种通过等离子增强化学气相沉积在具有内表面的中空元件的内表面形成金刚石样碳镀层的方法，该方法包括步骤：(a)在待处理的元件内形成低气压；(b)在所述元件内部导入类金刚石母体气体；(c)在第一电极与第二电极之间形成偏置电压；以及(d)在所述元件的内表面附近建立等离子区；其中，所述类金刚石母体气体包括金刚烷系列的类金刚石，并且选择所述压力和所述偏置电压以在所述表面上形成金刚石样碳的沉积。