[发明专利]用于检测半导体异常的装置和方法无效
| 申请号： | 200880104890.3 | 申请日： | 2008-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101796398A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | D·詹森斯;L·范德海特;J·德格里夫;L·戈维尔茨 | 申请（专利权）人： | ICOS视觉系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88;G06T7/00;H01L21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 11269 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于检测半导体衬底中异常的方法，所述方法包括以下步骤：提供半导体衬底，制作所述衬底的检查图像I，通过图像处理从图像I生成图像K，通过使图像K二值化而生成图像B，以及使用图像B检视图像I；其特征在于，生成图像K的步骤包括将得自于图像I的高通卷积滤波图像G(I)乘以第一权重图像W1。本发明还涉及适于应用该方法的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 半导体 异常 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于检测半导体衬底中异常的方法，包括以下步骤：a.提供半导体衬底，b.制作所述衬底的检查图像I，c.通过图像处理从图像I生成图像K，d.通过使图像K二值化而生成图像B，e.使用图像B检视图像I；其特征在于，步骤c包括将得自于图像I的高通卷积滤波图像G(I)乘以第一权重图像W1。
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