[发明专利]制备层次制品的方法无效
| 申请号： | 200880103985.3 | 申请日： | 2008-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101827783A | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 张俊颖;杰罗姆·C·波尔凯;珍妮弗·J·萨林;特里·L·史密斯;王丁 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 郭国清;樊卫民 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了制备含有纳米特征和微结构的层次制品的方法。所述方法包括提供包括纳米特征的基材，和然后制造微结构，添加层，除去所述层的至少一部分以露出所述基材的至少一部分。本发明还提供了制备含有纳米特征和微结构的层次结构的方法，其中该方法包括利用纳米粒子作为蚀刻掩模向已存在的微结构添加所述纳米特征。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 层次 制品 方法 | ||
【主权项】：
制备层次制品的方法，该方法包括：提供包含纳米特征化图案的基材；向所述基材添加层；和在所述层中产生微结构化图案，其中产生微结构化图案包括去除所述层的至少一部分以露出所述基材的至少一部分。
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