[发明专利]真空气相沉积材料的多用途载体及其方法

摘要

本发明涉及一种真空气相沉积材料的多用途载体及其制造方法。本发明的用于真空气相沉积材料的多用途载体包括：由金属材料制成的外部容器，金属材料诸如不锈钢、铁、铜、钼、钨或钛等；内填充物，诸如碳纤维毡、碳纤维或金属毡等；以及置于其上的网和垫圈，网和垫圈由诸如不锈钢、铁、铜、钼、钨或钛等金属材料制成，其中这些元件被组装或焊接成牢靠结合的结构。本发明具有浸渍或填充到多用途载体中的具有各种功能的各种类型的沉积材料能够在真空气相沉积设备中通过电子束加热法或电阻加热法均匀地沉积成非常薄的膜，其中沉积材料由有机和/或无机化合物构成，其具有固态(诸如粉末和颗粒状)、粘性不同的液态和半固态(诸如浆状)。

主权项

一种用于真空气相沉积的载体，其包括：将沉积材料接收于其中的金属容器；以及置于所述金属容器中的所述沉积材料上方的金属垫圈，其中，所述金属容器的上缘向下形成环形；以及其中，通过将所述金属垫圈下压到所述沉积材料上的环形上缘将所述金属垫圈固定在所述金属容器中。