[发明专利]真空气相沉积材料的多用途载体及其方法有效
| 申请号： | 200880100645.5 | 申请日： | 2008-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101765676A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 金炫中;金洪彻;金正来 | 申请（专利权）人： | 株式会社世可 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 董敏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空气 沉积 材料 多用途 载体 及其 方法 | ||
1.一种用于真空气相沉积的载体，其包括：
将沉积材料接收于其中的金属容器；以及
置于所述金属容器中的所述沉积材料上方的金属垫圈，
其中，所述金属容器的上缘向下形成环形；以及
其中，通过将所述金属垫圈下压到所述沉积材料上的环形上缘将 所述金属垫圈固定在所述金属容器中。
2.如权利要求1所述的用于真空气相沉积的载体，其还包括：金 属网，所述金属网被设置在所述沉积材料和所述金属垫圈之间以防止 所述沉积材料与所述金属容器分离。
3.如权利要求2所述的用于真空气相沉积的载体，其中，所述金 属容器、所述金属垫圈和所述金属网由不锈钢、铁、铜、钼、钨或钛 构成。
4.如权利要求1所述的用于真空气相沉积的载体，其还包括：碳 纤维毡，所述碳纤维毡被设置在所述沉积材料和所述金属垫圈之间以 防止所述沉积材料与所述金属容器分离。
5.如权利要求1所述的用于真空气相沉积的载体，其中，所述金 属容器为圆柱形或六面体形。
6.如权利要求1所述的用于真空气相沉积的载体，其中，所述金 属垫圈在其中心具有孔。
7.一种用于真空气相沉积的载体，其包括：
将沉积材料接收于其中的金属容器；
置于所述金属容器中的所述沉积材料上方的金属垫圈；
金属网，所述金属网被设置在所述沉积材料和所述金属垫圈之间 以防止所述沉积材料与所述金属容器分离；
其中，所述金属垫圈被焊接在所述金属容器上以压住所述沉积材 料。
8.如权利要求7所述的用于真空气相沉积的载体，其中，所述金 属容器、所述金属垫圈和所述金属网由不锈钢、铁、铜、钼、钨或钛 构成。
9.一种用于真空气相沉积的载体，其包括：
将沉积材料接收于其中的金属容器；
置于所述金属容器中的所述沉积材料上方的金属垫圈；
碳纤维毡，所述碳纤维毡被设置在所述沉积材料和所述金属垫圈 之间以防止所述沉积材料与所述金属容器分离；
其中，所述金属垫圈被焊接在所述金属容器上以压住所述沉积材 料。
10.如权利要求7或9所述的用于真空气相沉积的载体，其中， 所述金属容器为圆柱形或六面体形。
11.如权利要求7或9所述的用于真空气相沉积的载体，其中， 所述金属垫圈在其中心具有孔。
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