[发明专利]硅烷的再循环和再利用无效
| 申请号： | 200880024496.9 | 申请日： | 2008-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101808937A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | N·萨克希纳;N·玛木伦;B·库德贝克 | 申请（专利权）人： | 琳德有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/00 | 分类号： | C01B33/00;C23C16/22 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 项丹;周承泽 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明描述了对通过等离子体增强化学气相沉积法制备薄膜太阳能电池中使用的硅烷和硅烷/氢气混合物进行回收和再循环的方法和设备。通过收集来自沉积室的未反应的硅烷或硅烷/氢气混合物，将收集的气体再循环到沉积室，使得硅烷的利用率可以提高2-5倍。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 再循环 再利用 | ||
【主权项】：
一种对来自硅层沉积工艺中使用的沉积室的硅烷或硅烷/氢气混合物进行回收和再循环的方法，该方法包括：确定所述沉积工艺过程中的时段，在这些时段，仅有过量的硅烷或硅烷/氢气混合物从沉积室排出；在所述确定的时段中，收集所述从沉积室排出的硅烷或硅烷/氢气混合物；以及将收集的硅烷或硅烷/氢气混合物再循环到所述沉积室。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于琳德有限公司，未经琳德有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880024496.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
