[发明专利]硅烷的再循环和再利用

权利要求书

1.一种对来自硅层沉积工艺中使用的沉积室的硅烷或硅烷/氢气混合物进行回收和再循环的方法，该方法包括：

确定所述沉积工艺过程中的时段，在这些时段，仅有过量的硅烷或硅烷/氢气混合物从沉积室排出；

在所述确定的时段中，收集所述从沉积室排出的硅烷或硅烷/氢气混合物；以及

将收集的硅烷或硅烷/氢气混合物再循环到所述沉积室。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述硅沉积工艺是薄膜硅层沉积工艺。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述硅沉积工艺是太阳能电池制造工艺。

4.一种用来沉积硅层的系统，该系统包括：

沉积室；

固定在沉积室内的基片；

与所述沉积室连通的硅烷源；

与沉积室相连的能源，用来活化硅烷，以在基片上沉积硅层；

收集装置，所述收集装置与沉积室连通，用来收集过量的从沉积室排出的硅烷，将收集的硅烷再循环到沉积室。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述系统是用来沉积硅薄膜的系统。

6.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述系统是用来制造太阳能电池的系统。

7.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述能源是热能源、微波能源或等离子体能源。

8.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述硅烷源是硅烷、乙硅烷或者硅烷/氢气混合物。

9.一种在沉积室内在基片上沉积硅层的方法，该方法包括：

在沉积循环的第一部分，为沉积室提供硅烷源，用来在所述基片上沉积硅层；

在沉积循环的第二部分，向沉积室提供与至少一种其它气体混合的硅烷源，用来在基片上沉积混合的硅层；

在所述沉积循环的第二部分中，将从沉积室排出的过量的气体送到废气处理装置；

在沉积循环的第一部分中，收集从沉积室排出的过量的硅烷，并将收集的硅烷再循环到沉积室。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述硅层是硅薄膜。

11.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述硅层是太阳能电池的一部分。

12.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述硅烷源是硅烷、乙硅烷或者硅烷/氢气混合物。