[发明专利]圆筒形溅射靶有效
| 申请号： | 200880022992.0 | 申请日： | 2008-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN101688293A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 户床茂久;伊藤谦一;涩田见哲夫 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种圆筒形溅射靶。其能够显著减少溅射过程中的裂纹。由ITO或AZO构成的圆筒形靶材的相对密度为90％以上，外周面的磨削方向与平行于圆筒轴线的直线所构成的角度为45°＜θ≤90°或tanθ＞πR/L，将上述角度中的0°以上且在90°以下的角度视为θ，R是圆筒形靶材的外径、L是圆筒形靶材的长度，且上述圆筒形靶材的外周面的表面粗糙度Ra为3μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种圆筒形溅射靶，其特征在于，由陶瓷材料构成的圆筒形靶材的外周面的磨削方向与平行于圆筒轴线的直线所构成的角度θ1为45°＜θ1≤90°，将上述角度中的0°以上且在90°以下的角度视为θ1，且上述圆筒形靶材的外周面的表面粗糙度Ra为3μm以下。
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