[发明专利]悬浮装置及悬浮输送装置无效
申请号: | 200880021700.1 | 申请日: | 2008-06-03 |
公开(公告)号: | CN101711217A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 水野智夫;田中刈入 | 申请(专利权)人: | 株式会社IHI |
主分类号: | B65G51/03 | 分类号: | B65G51/03;B65G49/06;H01L21/677 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开一种悬浮输送装置,用于通过流体使具有下表面的对象物悬浮来进行输送。所述悬浮输送装置具有:悬浮装置、流体供给装置和输送装置。其中,所述悬浮装置具有:基部,其划分出所述流体通过的小室;板部,其具有上表面、和与所述小室连通而向所述上表面开口的一个以上喷嘴,且被配置成覆盖所述小室;壳体部件,具有朝向上端变窄的内表面,被配置在所述板部的上方,使得所述内表面和所述板部的所述上表面围住与所述喷嘴连通而朝向上方开口的空的空间;所述流体供给装置,对所述流体施压,从而向所述小室供给所述流体;所述输送装置,用于输送所述对象物。 | ||
搜索关键词: | 悬浮 装置 输送 | ||
【主权项】:
一种悬浮装置,通过流体使具有下表面的对象物悬浮,其特征在于,具有:基部,其划分出所述流体通过的小室;板部,其具有上表面、与所述小室连通而在所述上表面开口的一个以上喷嘴,且配置成覆盖所述小室;以及壳体部件,其具有向上端变窄的内表面,并被配置在所述板部的上方,使得所述内表面和所述板部的所述上表面围住与所述喷嘴连通而向上方开放的空的空间。
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