[发明专利]悬浮装置及悬浮输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用压缩空气等流体使对象物悬浮的悬浮装置以及在悬浮的同时输送对象物的悬浮输送装置。

背景技术

在现有技术中揭示了多种在使用压缩空气等流体使对象物悬浮的同时进行输送的悬浮输送装置。这些悬浮输送装置，典型地具有配备了能够使空气等流体通过的喷出孔的悬浮装置。向悬浮装置和对象物之间喷出的空气等流体产生压力，对象物通过此压力悬浮，并受到输送装置的驱动力而被输送。相关技术记载于日本专利申请公开公报2006-182563号中。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种对精度的要求更低、结构更简单、且产生均匀压力的悬浮装置及悬浮输送装置。

根据本发明的第一方面，提供一种通过流体使具有下表面的对象物悬浮的悬浮装置。所述悬浮装置具有：基部，其划分出所述流体通过的小室；板部，其具有上表面、与所述小室连通而在所述上表面开口的一个以上喷嘴，且配置成覆盖所述小室；以及壳体部件，其具有向上端变窄的内表面，并被配置在所述板部的上方，使得所述内表面和所述板部的所述上表面围住与所述喷嘴连通而向上方开放的空的空间。

根据本发明的第二方面，提供一种悬浮输送装置，其通过流体使具有下表面的对象物悬浮来进行输送，所述悬浮输送装置具有悬浮装置、流体供给装置和输送装置。所述悬浮装置具有：基部，其划分出所述流体通过的小室；板部，其具有上表面、与所述小室连通而在所述上表面开口的一个以上喷嘴，且配置成可覆盖所述小室；以及壳体部件，其具有向上端变窄的内表面，并被配置在所述板部的上方，使得所述内表面和所述板部的所述上表面围住与所述喷嘴连通而向上方开口的空的空间。所述流体供给装置，对所述流体施压来向所述小室供给所述流体。所述输送装置，用于输送所述对象物。

优选为，所述喷嘴包含从由圆形孔、矩形孔以及缝隙所构成的组中选择的任意贯通孔，所述贯通孔沿着从由长方形、椭圆形以及长圆形所构成的组中选择的任意形状的周围隔开间隔地排列。

附图说明

图1是本发明的实施方式的悬浮输送装置的局部俯视图。

图2是沿图1的II-II线取得的局部剖视图。

图3是将本发明的实施方式的悬浮装置横向剖开的剖视图。

图4是将所述悬浮装置纵向剖开的剖视图。

图5是与图3的V-V线对应的所述悬浮装置的板部的俯视图。

图6是与图3的V-V线对应的变形例的板部的俯视图。

图7是另一实施方式的悬浮装置的剖视图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的实施方式进行说明。在本说明书、权利要求书及附图中，前方、后方、左方及右方分别定义为在图中以FF、FR、L及R来标记的方向。这些定义仅为了便于说明，本发明并不限于此。

本发明的实施方式的悬浮输送装置1，是用于使对象物W在垂直方向上悬浮后在水平输送方向(例如后方FR)上输送的装置。作为对象物W，优选为整体为平面状的较薄的物体，例如LCD(液晶显示器)用的玻璃基板等薄板。对象物W未必需要整体为平面状，其下表面的至少一部分为平面状即可。为使对象物W悬浮，利用例如空气等流体。

在对象物W是LCD用的薄玻璃基板等需要在无尘环境下输送的物品的情况下，可在无尘室内等无尘环境下使用所述悬浮输送装置1。

如图1所示，悬浮输送装置1具备向前后方向延伸的基台3、在基台3上沿前后方向形成列的输送装置5、在基台3上沿前后方向及左右方向的两方向形成列的多个悬浮装置21。在悬浮装置21上，作为用于供给流体的流体供给装置，连接有未图示的供给压缩空气的空气供给装置。可以利用氮气或氩气等其他气体、或液体等其他流体来代替压缩空气。

输送装置5，在基台3上的左端及右端附近，具有在对象物W的输送方向上分别形成列的多个辊7。各辊7分别介由旋转轴7s一体地与蜗轮11连接，通过支架9可自由旋转地被支承。以在前后方向上贯穿基台3的方式具有一对驱动轴13，各驱动轴13具有以可驱动的方式与各蜗轮11啮合的蜗杆15。在各驱动轴13的前端，介由联轴器等以可以驱动的方式连接了马达17的输出轴17s。由此，各辊7接受马达17的驱动力，以相同转速旋转。如图2所示，所述各辊7的上端部配置成比所述悬浮装置21的上表面稍微向上方突出，而在单一面上对齐。如图2所示，对象物W即使处于悬浮状态，也可以与应受驱动力的辊7接触。

马达17无需设置一对，两个驱动轴13也可以介由链条等适当的连接机构与单一马达连接。并且，也可以代替辊，而将可驱动的夹持器或皮带输送机等输送机构应用于输送装置5。