[发明专利]涡轮分子泵无效
| 申请号： | 200880019895.6 | 申请日： | 2008-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101680458A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·施奈德斯;马库斯·亨利;格哈德·威廉·沃尔特 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/70;H01J49/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春水;田军锋 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种涡轮分子泵(12)，其具有在入口转子级(18)远端的圆形的吸气口(16)。所述吸气口(16)具有至少两个相互分开的开口部分(41、42、43)。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
1.一种涡轮分子泵(12)，具有在入口转子级(18)远端的圆形的吸气口(16)，其特征在于，所述吸气口(16)具有至少两个相互分开的开口部分(41、42、43)。
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