[发明专利]涡轮分子泵无效
| 申请号： | 200880019895.6 | 申请日： | 2008-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101680458A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·施奈德斯;马库斯·亨利;格哈德·威廉·沃尔特 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/70;H01J49/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春水;田军锋 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
1.一种涡轮分子泵(12)，具有在入口转子级(18)远端的圆形的吸气口(16)，其特征在于，所述吸气口(16)具有至少两个相互分开的开口部分(41、42、43)。
2.如权利要求1所述的涡轮分子泵(12)，其特征在于，所述开口部分(41、42、43)通过管道壁(24、25、26)相互分开。
3.如权利要求1或2所述的涡轮分子泵(12)，其特征在于，所述开口部分(41、42、43)相互不同地形成。
4.如权利要求1至3中任一项所述的涡轮分子泵(12)，其特征在于，至少一个开口部分(51)形成圆形。
5.如权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵(12)，其特征在于，所述开口部分(51、52)中的至少一个是圆形的并且是同心的。
6.如权利要求1至3中任一项所述的涡轮分子泵(12)，其特征在于，至少一个开口部分(71、72、73)形成扇形。
7.一种真空装置(10)，具有至少两个真空腔(21、22、23)和根据权利要求1至6中任一项所述的涡轮分子泵(12)，其中每个开口部分(41、42、43)通过相应单独的真空管道(31、32、33)与每个真空腔(21、22、23)连接。
8.如权利要求7所述的真空装置(80)，其中所述涡轮分子泵(12’)构成为无外壳的芯(13)，所述芯(13)插入具有所述真空腔(20、21、22、23)的设备(80)的外壳(86)内。
9.如权利要求8所述的真空装置(80)，其中所述设备(92)为质谱仪。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司，未经厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200880019895.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
