[发明专利]电子部件的连接方法及接合体有效
申请号: | 200880019022.5 | 申请日: | 2008-05-21 |
公开(公告)号: | CN101681858A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 石松朋之;佐藤大祐;大关裕树 | 申请(专利权)人: | 索尼化学&信息部件株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;C09J9/02;C09J11/04;C09J201/00;H01B5/16;H01R11/01;H01R43/00;H05K3/32 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张 晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种能够正确计测导电性粒子的捕捉数,并且连接后的导通可靠性高的电子部件的连接方法及接合体。本发明的电子部件的连接方法,包括:混合工序,将分散溶剂、溶解于所述分散溶剂的粘结剂树脂、导电性粒子和粒径比所述导电性粒子小的绝缘性粒子进行混合,从而制作各向异导电性粘结剂;热挤压工序,隔着所述各向异导电性粘结剂,使基板的基板侧端子和电子部件的部件侧端子对置,在所述基板和所述电子部件上施加热及挤压力,用所述基板侧端子及所述部件侧端子夹持所述导电性粒子,进而使所述导电性粒子变形,并且,所述热挤压工序中的挤压力,比破坏所述导电性粒子的破坏挤压力及使所述导电性粒子的粒径变得与所述绝缘性粒子的粒径相同的变形挤压力均小。 | ||
搜索关键词: | 电子 部件 连接 方法 接合 | ||
【主权项】:
1、一种电子部件的连接方法,其特征在于,包括:混合工序,将分散溶剂、溶解于所述分散溶剂的粘结剂树脂、导电性粒子和粒径比所述导电性粒子小的绝缘性粒子进行混合,从而制作各向异导电性粘结剂;热挤压工序,隔着所述各向异导电性粘结剂,使基板的基板侧端子和电子部件的部件侧端子对置,在所述基板和所述电子部件上施加热及挤压力,用所述基板侧端子及所述部件侧端子夹持所述导电性粒子,进而使所述导电性粒子变形,并且,所述热挤压工序中的挤压力,比破坏所述导电性粒子的破坏挤压力及使所述导电性粒子的粒径变得与所述绝缘性粒子的粒径相同的变形挤压力均小。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造