[发明专利]流体控制装置有效
申请号: | 200880017711.2 | 申请日: | 2008-05-26 |
公开(公告)号: | CN101680561A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 大加濑亘;守谷修司;中田知宏;筱原努;山路道雄 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社;株式会社富士金 |
主分类号: | F16K27/00 | 分类号: | F16K27/00;H01L21/02;F17D1/04;C23C16/455 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 陈 伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种流体控制装置,能够实现零件数量的削减和组装作业效率的提高。相对的拆卸频率较高的压力显示器(4)通过来自上方的螺钉部件(17)与位于下方的基座块(5)结合。相对的拆卸频率较低的开闭阀(6)在下方具有一体设置的块状主体(6a)。开闭阀(6)的主体(6a)被前后方向上的螺钉部件(18)结合在基座块(5)上。 | ||
搜索关键词: | 流体 控制 装置 | ||
【主权项】:
1.一种流体控制装置,具有:多种流体控制设备;支承流体控制设备的基座块;用于确保流体通路彼此对接的部分中的密封性的密封机构,其特征在于:多种流体控制设备的至少一个成为带基座块的流体控制设备,该带基座块的流体控制设备具有设置了在下表面开口的通路的连接块部,且通过来自上方的螺钉部件与配置于该连接块部下方的一个或多个基座块结合,多种流体控制设备中的其他流体控制设备形成为主体下表面被封闭且在下方没有配置基座块的无基座块的流体控制设备,配置在带基座块的流体控制设备的下方的基座块和无基座块的流体控制设备的主体以它们的下表面彼此成为同一平面的方式被前后方向上的螺钉部件结合。
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