[发明专利]流体控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造装置等中使用的流体控制装置，尤其涉 及集成多个流体控制设备形成的流体控制装置。

背景技术

在半导体制造装置所使用的流体控制装置中，正在推行集成化， 所谓集成化是，多个流体控制设备串联配置且不经由管和接头连接 而形成多条管线，将该多条管线并列地设置在基座部件上。在专利 文献1中，作为这样的流体控制装置，公开了以下装置：作为下级层 的多个块状接头部件通过螺钉部件安装在基座部件上，作为上级层 的多个流体控制设备以跨越相邻的接头部件的方式被安装在接头部 件上。

专利文献1：日本特开平10-227368号公报

在上述专利文献1的流体控制装置中，与以往的装置相比，虽具 有能够使装置的占有空间减少以及通路的体积减少的优点，但是存 在如下问题：零件数量较多，在以跨越相邻的接头部件的方式安装 流体控制设备时定位需要花费工时，从而希望能够进一步改良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种流体控制装置，其能够削减零件数 量并实现组装作业效率的提高。

本发明的流体控制装置具有：多种流体控制设备；支承流体控 制设备的基座块；用于确保流体通路彼此对接的部分中的密封性的 密封机构，其特征在于：多种流体控制设备的至少一个成为带基座 块的流体控制设备，该带基座块的流体控制设备具有设有在下表面 开口的通路的连接块部，且通过来自上方的螺钉部件与配置于其下 方的一个或多个基座块结合，多种流体控制设备中的其他流体控制 设备形成为主体下表面被封闭且在下方没有配置基座块的无基座块 的流体控制设备，配置在带基座块的流体控制设备的下方的基座块 和无基座块的流体控制设备的主体以它们的下表面彼此成为同一平 面的方式被前后方向上的螺钉部件结合。

在本说明书中，上下是指图1及图3的上下，前后方向是指图1及 图3的左右方向，但该上下及前后仅为了便于说明，流体控制装置除 了以图1及图3的“上下”状态安装在水平面上以外，还有上下颠倒 地安装在水平面上，或安装在垂直面上的情况。

多种流体控制设备为带基座块的流体控制设备或无基座块的流 体控制设备中的某一个。带基座块的流体控制设备的主体和基座块 能够分离，在没有安装基座块的状态下，能够作为流体控制设备单 个零件进行处置，还能够作为安装有基座块的组装品进行处置。由 于无基座块的流体控制设备没有基座块，所以通常能够作为流体控 制设备单个零件进行处置。因此，位于带基座块的流体控制设备下 方的基座块与无基座块的流体控制设备的主体通过前后方向上的螺 钉部件进行结合，在该状态下，带基座块的流体控制设备的流体控 制器能够单独从上方进行拆卸，无基座块的流体控制设备不能够单 独从上方进行拆卸。

在使多种流体控制设备全部为无基座块的流体控制设备，并通 过前后方向上的螺钉部件对它们进行结合的情况下，不需要来自上 方的螺钉部件，在组装作业效率方面有利。但是，在多种流体控制 设备中包括需要频繁进行检修和更换(拆卸的频率高的零件)的零 件，因此，即使在仅拆卸一个流体控制设备的情况下，也需要拆卸 前后方向上的螺钉部件并对整体进行分解，维护性方面不利。通过 本发明的流体控制装置，将能够单独从上方拆卸的带基座块的流体 控制设备作为相对拆卸频率高的流体控制设备，由此，能够使维护 性提高，并且，通过前后方向上的螺钉部件对带基座块的流体控制 设备的基座块和无基座块的流体控制设备进行结合，由此，也能够 确保组装的容易程度。

带基座块的流体控制设备存在一个流体控制设备仅安装在一个 基座块上的情况，另外，还存在一个流体控制设备以跨越两个基座 块的方式被安装的情况。

由于无基座块的流体控制设备的主体与基座块成为相同的水平 面，其主体由支承自身的致动部分的部分和与其一体设置的伸出部 分构成，所以能够将伸出部分作为基座块使用。