[发明专利]具有光束指向校正的光调制器无效

专利信息
申请号: 200880017686.8 申请日: 2008-05-29
公开(公告)号: CN101681119A 公开(公告)日: 2010-03-24
发明(设计)人: J·M·克比;P·G·德瓦;J·L·克罗伊泽 申请(专利权)人: 康宁股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 李 玲
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 提供经调制的脉冲式辐射光束的装置(20)具有用于提供恒定脉冲重复频率下的脉冲式辐射光束的辐射源(16)以及许多光束强度调制器(18a-18e)。在脉冲式辐射光束的光径中和围绕一个轴旋转的光束偏转元件循环地依次使脉冲式辐射光束改变方向而到达多个光束强度调制器中的每一个光束强度调制器中。可与光束偏转元件同步地围绕轴旋转的光束重组元件组合来自每个光束强度调制器的经调制的光,以便形成恒定脉冲重复频率下的经调制的脉冲式辐射光束。至少一个光束指向校正装置使光束偏转元件和光束重组元件在围绕轴的至少一个旋转位置处实现光学上的共轭。
搜索关键词: 具有 光束 指向 校正 调制器
【主权项】:
1.一种用于提供经调制的脉冲式辐射光束的装置,包括:a)辐射源,用于提供恒定脉冲重复频率下的脉冲式辐射光束;b)多个光束强度调制器;c)在所述脉冲式辐射光束的光径中并且可围绕轴旋转的光束偏转元件,用于循环地依次使所述脉冲式辐射光束变向而到达所述多个光束强度调制器中的每一个中;d)可围绕所述轴与所述光束偏转元件同步地旋转的光束重组元件,所述光束重组元件被设置成组合来自所述多个光束强度调制器中的每一个的经调制的光,以形成所述恒定脉冲重复频率下的经调制的脉冲式辐射光束;以及(e)至少一个光束指向校正装置,所述光束指向校正装置使所述光束偏转元件和所述光束重组元件在围绕所述轴的至少一个旋转位置处光学共轭。
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