[发明专利]具有光束指向校正的光调制器

权利要求书

1.一种用于提供经调制的脉冲式辐射光束的装置，包括：

a)辐射源，用于提供恒定脉冲重复频率下的脉冲式辐射光束；

b)多个光束强度调制器；

c)在所述脉冲式辐射光束的光径中并且可围绕轴旋转的光束偏转元件，用于循环地依次使所述脉冲式辐射光束变向而到达所述多个光束强度调制器中的每一个中；

d)可围绕所述轴与所述光束偏转元件同步地旋转的光束重组元件，所述光束重组元件被设置成组合来自所述多个光束强度调制器中的每一个的经调制的光，以形成所述恒定脉冲重复频率下的经调制的脉冲式辐射光束；以及

(e)至少一个光束指向校正装置，所述光束指向校正装置使所述光束偏转元件和所述光束重组元件在围绕所述轴的至少一个旋转位置处光学共轭。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束偏转元件是可致动的，以使所述脉冲式辐射光束以一次一个脉冲的方式依次向多个光束强度调制器中的每一个变向。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，至少一个所述光束强度调制器是从由快门、压电致动设备、音圈致动设备、伺服电机致动设备以及检流计致动设备组成的组中选择的。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，至少一个所述光束指向校正装置具有1X望远镜的光学构造。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束偏转元件是旋转的单一体。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述辐射源是从包括准分子激光器和脉冲式固态激光器的组中选择的。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，至少一个所述光束强度调制器包括分光表面。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束强度调制器是围绕所述光束偏转元件的旋转轴以等角度增量设置的。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束偏转元件使所述入射脉冲式辐射光束以小于45度的角度偏转。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，通过可旋转的轴来耦合所述光束偏转元件和所述光束重组元件。

11.如权利要求1所述的装置，其特征在于，至少一个所述光束指向校正装置包括两个或多个透镜元件。

12.如权利要求1所述的装置，其特征在于，至少一个所述光束指向校正装置包括两个或多个弧形反射面。

13.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束偏转元件是反射性的。

14.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束偏转元件是折射性的。

15.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束偏转元件是衍射性的。

16.一种用于提供经调制的脉冲式辐射光束的装置，包括：

a)提供恒定脉冲重复频率下的脉冲式辐射光束的辐射源；

b)光束偏转器，所述光束偏转器在所述脉冲式辐射光束的光径中的可旋转主轴上，并且可致动而循环地使所述脉冲式辐射光束每次向多个光束强度调制通道中的一个通道改变方向；

其中所述光束强度调制通道是围绕所述可旋转主轴的旋转轴以等角度增量设置的；以及

c)在所述旋转主轴上的光束重组器，用于组合来自所述多个光束强度调制器中的每一个的经调制的光，以形成所述恒定脉冲重复频率下的经调制的脉冲式辐射光束，

其中至少一个所述光束强度调制通道包括：

(i)光束强度调制器，用于提供入射脉冲式辐射的可变衰减；以及

(ii)光束指向校正装置，所述光束指向校正装置使所述光束偏转器和光束重组器对于被引导至所述光束强度调制器的光而言在光学上共轭。