[发明专利]照明光学装置、曝光装置及元件制造方法有效
| 申请号： | 200880015567.9 | 申请日： | 2008-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101681117A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 广田弘之 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 照明光学装置13将输出自曝光用光源12的曝光用光EL导向被照射物体R。照明光学装置13具备排列成矩阵状的多个空间光调变构件22，各空间光调变构件22将具有可动反射面的多个反射光学元件排列成矩阵状而分别构成。又，各空间光调变构件中的至少1个配置在从光源输出的光的光路内。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学 装置 曝光 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种照明光学装置，将从光源输出、沿既定光路行进的光导向被照射物体，其特征在于：具备多个空间光调变构件，由具有可动反射面的多个反射光学元件排列成矩阵状所构成；各该空间光调变构件中的至少1个配置在该光路内。
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