[发明专利]照明光学装置、曝光装置及元件制造方法

权利要求书

1.一种照明光学装置，将从光源输出、沿既定光路行进的光导向被照 射物体，其特征在于：

具备多个空间光调变构件，由具有可动反射面的多个反射光学元件排 列成矩阵状所构成；

各该空间光调变构件中的至少1个配置在该光路内；

该多个空间光调变构件具备配置在第1位置的第1空间光调变构件、 与配置在与该第1位置不同的第2位置的第2空间光调变构件；

该第1及第2位置，隔着从该光源输出的光的该光路的轴。

2.如权利要求1所述的照明光学装置，其特征在于，其中，各该空间 光调变构件，以所有空间光调变构件位于该光路内的方式排列成矩阵状。

3.如权利要求1所述的照明光学装置，其特征在于，其进一步具备光 束分歧部，配置在较各该空间光调变构件更靠近该光源侧，将从该光源输 出的光分歧为多个光束；

各该空间光调变构件分别配置在各该光束的光路内。

4.如权利要求3所述的照明光学装置，其特征在于，其进一步具备限 制构件，该限制构件配置在各该空间光调变构件与该光束分歧部之间，以 限制来自各该空间光调变构件的反射光射入该光束分歧部。

5.如权利要求4所述的照明光学装置，其特征在于，其中，在该光束 分歧部与各该空间光调变构件间的光路中，不配置具有功率的光学构件。

6.如权利要求5所述的照明光学装置，其特征在于该光束分歧部，在 包含从该光源输出的光的该光路的轴的面内，将该多个光束加以分歧。

7.如权利要求3至6中任一权利要求所述的照明光学装置，其特征在 于，其进一步具备分布形成光学系，将经过各该空间光调变构件的光加以 聚光，以在该照明光学装置的照明光瞳形成既定光强度分布。

8.如权利要求7所述的照明光学装置，其特征在于，其中，该多个空 间光调变构件，构成为经过该多个反射光学元件以外、且与排列该多个反 射光学元件的排列面大致平行的面部分的0次光，不通过该分歧形成光学 系的入射光瞳。

9.如权利要求8所述的照明光学装置，其特征在于，其中，该分布形 成光学系，可将经过该多个空间光调变构件中的1个的光束的至少一部分、 与经过该多个空间光调变构件中另外1个的光束的至少一部分，在该照明 光瞳加以重叠。

10.如权利要求7所述的照明光学装置，其特征在于，其中，各该反 射光学元件，为使其反射角相对入射于各反射面的光的轴的倾斜角变化而 可动。

11.如权利要求10所述的照明光学装置，其特征在于，其中，构成各 该空间光调变构件中的至少1个空间光调变构件的各该反射光学元件，能 以第1轴或与该第1轴平行的轴为中心旋动；

与构成该至少1个空间光调变构件不同的其他空间光调变构件的各该 反射光学元件，能以和该第1轴交叉的第2轴或与该第2轴平行的轴为中 心旋动。

12.如权利要求1至6中任一权利要求所述的照明光学装置，其特征 在于，其中，该照明光学装置与将光罩的图案转印至涂有感光性材料的基 板上的曝光装置组合使用，可在该被照射面配置该图案。

13.一种曝光装置，其特征在于其具备：

权利要求1至12中任一权利要求所述的照明光学装置；

保持机构，用以保持形成有既定图案所构成的被照射物体；以及

投影光学装置，用以将从该光源输出的光透过该照明光学装置照射该 被照射物体而形成的图案像，投影至涂有感光性材料的基板上。

14.一种元件的制造方法，其特征在于其包含：

曝光步骤，使用权利要求13所述的曝光装置，将该既定图案曝光至该 基板；

显影步骤，在该曝光步骤后将该基板加以显影，以在该基板表面形成 对应该既定图案的形状的掩模层；以及

加工步骤，是在该显影步骤后透过该掩模层加工该基板表面。