[发明专利]通过使用一组哑元填充单元来执行哑元填充的方法和设备

摘要

一个实施方式在设计布局中执行哑元填充，从而实现在窄的目标密度范围中的目标密度。在操作期间，系统接收一个设计布局，该设计布局包括密度不在目标密度所期望的范围中的区域。接下来，所述系统接收可以用于放置哑元填充阵列从而填充任意大小的矩形的哑元填充单元组。该哑元填充单元可以包括使该哑元形状正确地印刷，而不管该哑元填充阵列的大小的辅助特征和光学邻近校正。该系统于是确定该设计布局中的多边形以用哑元填充单元填充。接下来，该系统断裂该多边形成一组矩形。该系统使用该哑元填充单元组以放置填充矩形的哑元填充阵列。

主权项

1.一种用于在设计布局中执行哑元填充，从而实现在窄的目标密度范围中的目标密度的方法，该方法包括：接收定义窄的目标密度范围的低目标密度和高目标密度；接收包括密度小于所述低目标密度的区域的设计布局，其中哑元形状被期望放置该设计布局中，其中该哑元形状要求辅助特征和光学邻近校正以正确地印刷，并且其中在所述设计布局中放置该哑元形状后执行辅助特征放置和光学邻近校正是不切实际的；接收用于放置哑元填充阵列以填充任意大小的矩形的哑元填充单元组，其中该哑元填充单元组包括使该哑元形状正确地印刷而不管该哑元填充阵列的大小的辅助特征和光学邻近校正；确定该设计布局中的多边形以用哑元填充单元填充；将该多边形断裂成一组矩形；以及使用该哑元填充单元组来在该设计布局中放置第一哑元填充阵列，其中该第一哑元填充阵列填充矩形组中第一矩形。