[发明专利]压电陶瓷多层执行器及其制造方法有效
| 申请号： | 200880003824.7 | 申请日： | 2008-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN101601147A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | A·伦克;C·舒;A·冈斯特;S·科尼利;A·曼托万;J·扎普夫 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H01L41/24 | 分类号： | H01L41/24;H01L41/083 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢 江;刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了用于制造压电陶瓷多层执行器的各种制造方法。在所述制造方法的范围内，对多层条(10)以电化学或者机械方式进行处理，使得产生凹陷结构。在该凹陷(40)内的电极(20)的侧面(22；24)借助于注浆被电绝缘，以便通过印上外部金属化而能够接触其余电极。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 陶瓷 多层 执行 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.压电陶瓷多层执行器的制造方法，该制造方法具有下列步骤：a)制造作为生坯体的多层条(10)，所述多层条(10)由在多层条(10)的堆叠方向(S)上多个压电陶瓷层(30)和多个电极(20)的交替布置构成，垂直于堆叠方向(S)的多层条(10)的深度(T)对应于多层执行器的深度，而垂直于堆叠方向(S)的多层条(10)的宽度(B)对应于多个多层执行器的宽度，并且电极(20)延伸在多层条(10)的整个深度(T)上且交替地从多层条(10)的相对的端面(15)开始不是延伸在多层条(10)的整个宽度(B)上，b)将相对的辅助电极(25)布置在以多层条(10)的宽度(B)相间隔的端面(15)处，使得利用相对的辅助电极(25)能够以在堆叠方向(S)上错位一个电极(20)的形式分别以电的方式驱动每隔一个电极(20)，c)平行于多层条(10)的深度(T)对每隔一个电极(20)的侧面(22；24)以电化学方式进行还原、特别是蚀刻，使得在多层条(10)的相对的宽侧(12)上分别将电极(20)的每隔一个侧面(22；24)还原到多层条(10)中，并且电极(20)的被还原的侧面(22；24)在多层条(10)的相对的宽侧(12)上在叠成方向(S)上彼此间隔一个压电陶瓷层(30)，d)用电绝缘层对电极(20)的被还原的侧面(22；24)进行涂敷，并且平行于堆叠方向(S)将多个外电极分别施加在多层条(10)的相对的宽侧(12)上，e)将多层条(10)进行烧结，并且平行于多层条(10)的深度方向(T)和堆叠方向(S)将多层条(10)分成多个压电陶瓷多层执行器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西门子公司，未经西门子公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880003824.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
