[发明专利]压电陶瓷多层执行器及其制造方法

权利要求书

1.一种压电陶瓷多层执行器的制造方法，该制造方法具有下列步骤：

a)制造作为生坯体的多层条(10)，所述多层条(10)由在多层条(10)的堆叠方向(S)上多个压电陶瓷层(30)和多个电极(20)的交替布置构成，垂直于堆叠方向(S)的多层条(10)的深度(T)对应于多层执行器的深度，而垂直于堆叠方向(S)的多层条(10)的宽度(B)对应于多个多层执行器的宽度，并且电极(20)延伸在多层条(10)的整个深度(T)上且交替地从多层条(10)的相对的端面(15)处开始不是延伸在多层条(10)的整个宽度(B)上，

b)将相对的辅助电极(25)布置在以多层条(10)的宽度(B)相间隔的端面(15)上，使得利用相对的辅助电极(25)能够以在堆叠方向(S)上错位一个电极(20)的形式分别以电的方式驱动每隔一个电极(20)，

c)平行于多层条(10)的深度(T)对每隔一个电极(20)的侧面(22；24)以电化学方式进行还原，使得在多层条(10)的相对的宽侧(12)上分别将电极(20)的每隔一个侧面(22；24)还原到多层条(10)中，并且电极(20)的被还原的侧面(22；24)在多层条(10)的相对的宽侧(12)上在堆叠方向(S)上彼此间隔一个压电陶瓷层(30)，

d)用电绝缘层对电极(20)的被还原的侧面(22；24)进行涂敷，并且平行于堆叠方向(S)将多个外电极分别施加在多层条(10)的相对的宽侧(12)上，

e)将多层条(10)进行烧结，并且平行于多层条(10)的深度方向(T)和堆叠方向(S)将多层条(10)分成多个压电陶瓷多层执行器，

其中，电极(20)的被还原的侧面(22；24)分别布置在凹陷(40)中，所述凹陷(40)利用由陶瓷或者玻璃状的注浆所制成的电绝缘层来填充并烧灼以用于涂敷。

2.根据权利要求1的制造方法，其中以电化学方式进行还原是一种蚀刻。

3.根据权利要求1的制造方法，其中所述多个外电极印在多层条(10)的相对的宽侧(12)上。

4.根据权利要求1-3之一的制造方法，其中将端面(15)连同辅助电极(25)一起被分离，使得在多层条(10)中不留下压电非活性区域(5)。