[发明专利]用于光致抗蚀剂的抗反射涂料组合物的溶剂混合物有效
| 申请号： | 200880002500.1 | 申请日： | 2008-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN101583907A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 向中;吴恒鹏;庄弘;E·冈萨雷斯;M·O·奈瑟 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/09;C09D7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王 健 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及能够涂覆在光致抗蚀剂层下面的抗反射涂料组合物，其中该抗反射涂料组合物包含聚合物交联剂和溶剂混合物，其中该溶剂混合物包含至少一种主要有机溶剂和至少一种选自结构1、2和3的任一种的辅助有机溶剂其中R1、R3和R4选自H和C1-C6烷基，并且R2、R5、R6、R7、R8和R9选自C1-C6烷基和n＝1-5。本发明还涉及一种能够涂覆在光致抗蚀剂层下面的抗反射涂料组合物，其中该抗反射涂料组合物包含聚合物交联剂和溶剂混合物，其中该溶剂混合物包含至少2种有机溶剂，并且其中该抗反射涂料组合物在加速老化之后在0.2微米下具有小于100/ml的液体颗粒数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀剂 反射 涂料 组合 溶剂 混合物 | ||
【主权项】：
1.能够涂覆在光致抗蚀剂层下面的抗反射涂料组合物，其中该抗反射涂料组合物包含聚合物交联剂和溶剂混合物，其中该溶剂混合物包含至少一种主要有机溶剂和至少一种辅助有机溶剂，其中辅助有机溶剂选自结构1、2和3的任一种![]()
其中R1、R3和R4独立地选自H和C1-C6烷基，并且R2、R5、R6、R7、R8和R9独立地选自C1-C6烷基和n＝1-5。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于AZ电子材料美国公司，未经AZ电子材料美国公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880002500.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
