[发明专利]溅射靶

摘要

本发明的目的在于，提供一种在由相互之间厚度不同的分割靶材构成的溅射靶中，能够容易地从各分割靶材的邻接部所形成的间隙中去除粘合材料的溅射靶。本发明的溅射靶是一种通过粘合材料，将由多个分割靶材构成的靶材与背板接合为一体的溅射靶，其特征在于，所述背板被形成为截面呈近似凸状，同时在所述分割靶材中的设置于所述溅射靶端部的端部分割靶材被形成为，截面呈近似L字状，并且所述端部分割靶材之外的分割靶材被形成为平板状。

主权项

1、一种溅射靶，通过粘合材料将由多个分割靶材构成的靶材与背板接合为一体，其特征在于，所述背板，在作为厚壁部的中央部以及作为薄壁部的外周部之间具有阶梯部而形成近似凸状的截面，同时，在所述分割靶材中，配置于所述溅射靶端部上的端部分割靶材具备薄壁部和厚壁部而形成近似L字状的截面，并且所述端部分割靶材之外的分割靶材被形成为，由薄壁部构成的平板状，将所述端部分割靶材配置成与所述背板的阶梯部抵接，以使所述溅射靶的表面大致成为一个平面，并且将所述端部分割靶材之外的分割靶材以平面形式配置在所述背板的中央部。