[实用新型]铁氧体热蒸镀薄膜沉积设备无效
| 申请号： | 200820301891.4 | 申请日： | 2008-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN201261803Y | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 永崎高人 | 申请（专利权）人： | 赖盈方 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08;C23C14/52 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 何 为 |
| 地址： | 中国台湾高雄市楠*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种铁氧体热蒸镀薄膜沉积设备，包括腔体、可移动式平台，腔体内设有两组可旋转的十二角形滚筒，该滚筒环周设有置放被镀物的治具，腔体的基座位置则设有一组可移动式平台，该平台上设置三列九组的钨舟；从而，可利用可移动式蒸发源机构的移位，搭配滚筒的旋转，达到高效率的产能，此外利用本设备偏压装置的放电效应，可有效提升腔体内的洁净度，进而提升镀膜质量及降低成本的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 铁氧体 热蒸镀 薄膜 沉积 设备 | ||
【主权项】：
【权利要求1】一种铁氧体热蒸镀薄膜沉积设备，包括腔体、蒸发源机构、控制台单元、变压器转换单元、压缩机、冷冻泵、机械增压泵，该腔体内设有膜厚计、及可监控基板温度的热电偶，其特征在于：所述腔体内设有两组可旋转的十二角形滚筒，滚筒的上方设有两组加热器，所述膜厚计设于滚筒下方，所述热电偶装设于两加热器中间，该腔体的后方设有两组控制滚筒的旋转速度的变速马达，该滚筒环周设有置放被镀物的治具，腔体的基座位置则设有一组可移动式平台，该平台上设置三列九组的钨舟；该蒸发源机构为可移动式，包含气压式往复致动器、数组冷却水路、及电流控制器与电极，该气压式往复致动器透过线性滑轨精准的控制平台线性运动与定位，该电流控制器及电极与与平台上的九组钨舟电性连接。
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