[实用新型]铁氧体热蒸镀薄膜沉积设备无效
| 申请号： | 200820301891.4 | 申请日： | 2008-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN201261803Y | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 永崎高人 | 申请（专利权）人： | 赖盈方 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08;C23C14/52 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 何 为 |
| 地址： | 中国台湾高雄市楠*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铁氧体 热蒸镀 薄膜 沉积 设备 | ||
【权利要求书】：
【权利要求1】一种铁氧体热蒸镀薄膜沉积设备，包括腔体、蒸发源机构、控制台单元、变压器转换单元、压缩机、冷冻泵、机械增压泵，该腔体内设有膜厚计、及可监控基板温度的热电偶，其特征在于：所述腔体内设有两组可旋转的十二角形滚筒，滚筒的上方设有两组加热器，所述膜厚计设于滚筒下方，所述热电偶装设于两加热器中间，该腔体的后方设有两组控制滚筒的旋转速度的变速马达，该滚筒环周设有置放被镀物的治具，腔体的基座位置则设有一组可移动式平台，该平台上设置三列九组的钨舟；该蒸发源机构为可移动式，包含气压式往复致动器、数组冷却水路、及电流控制器与电极，该气压式往复致动器透过线性滑轨精准的控制平台线性运动与定位，该电流控制器及电极与与平台上的九组钨舟电性连接。
【权利要求2】如权利要求1所述的铁氧体热蒸镀薄膜沉积设备，其特征在于：所述腔体的外部设有一组观测窗口。
【权利要求3】如权利要求1所述的铁氧体热蒸镀薄膜沉积设备，其特征在于：所述腔体侧面设有一组可用来监控腔体内部温度的放射型温度感应器。
【权利要求4】如权利要求1所述的铁氧体热蒸镀薄膜沉积设备，其特征在于：所述真空腔体内亦可设一对基板及被镀物施加偏压达到腔体洁净的偏压器。
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