[实用新型]一种用于掩膜版的定位确认装置有效
| 申请号： | 200820212006.5 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN201237696Y | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 郝明毅 | 申请（专利权）人： | 清溢精密光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于零部件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置，它包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。该装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求，大大降低由于掩膜版位置偏移产生的废品数量，可广泛应用于掩膜版的定位确认领域之中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 掩膜版 定位 确认 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于掩膜版的对位确认装置，其特征在于：包括定位工具和测量工具，所述定位工具与测量工具活动连接。
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