[实用新型]一种用于掩膜版的定位确认装置有效
| 申请号： | 200820212006.5 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN201237696Y | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 郝明毅 | 申请（专利权）人： | 清溢精密光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 掩膜版 定位 确认 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种用于掩膜版的对位确认装置，其特征在于：包括定位工具和测量工具，所述定位工具与测量工具活动连接。
2、如权利要求1所述的用于掩膜版的对位确认工具，其特征在于：所述的测量工具为数字显示游标卡尺，所述的数字显示游标卡尺包括数字显示器和游标卡尺，所述数字显示器置于定位工具上，所述游标卡尺与定位工具活动连接。
3、如权利要求2所述的用于掩膜版的对位确认工具，其特征在于：所述定位工具上设有凹槽，所述游标卡尺与凹槽相对应，该游标卡尺置于定位工具所设有的凹槽之中并于所述凹槽内滑动。
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