[实用新型]多线锯切割后硅片脱胶保护装置无效
申请号: | 200820208842.6 | 申请日: | 2008-12-31 |
公开(公告)号: | CN201350670Y | 公开(公告)日: | 2009-11-25 |
发明(设计)人: | 童立峰 | 申请(专利权)人: | 嘉兴嘉晶电子有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314500浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型所公开的多线锯切割后硅片脱胶保护装置,它主要包括硅片固定夹具,硅片固定夹具底部设有连接板,连接板与钢板配合连接,硅片固定夹具两侧是端板,端板与底部的连接板固定连接,在硅片固定夹具两侧,两端板之间设有连接杆,在连接杆上通过可拆卸结构连接有插条。使得插条对硅片起到支撑和保护的作用以防止硅片倾倒导致破裂。本装置结构简单,为方便多线锯切割后硅片脱胶的取出起到了很大的作用,且脱胶过程粘胶软化后硅片能靠住不锈钢插条,有效的防止了硅片因倾倒而导致的硅片破裂的成本损耗,且插条和连接杆之间的连接安全可靠,操作方便。 | ||
搜索关键词: | 多线锯 切割 硅片 脱胶 保护装置 | ||
【主权项】:
1、一种多线锯切割后硅片脱胶保护装置,它主要包括硅片固定夹具(13),硅片固定夹具(13)底部设有连接板(12),连接板(12)与钢板(8)配合连接,硅片固定夹具(13)两侧是端板(7),端板(7)与底部的连接板(12)固定连接,其特征是在硅片固定夹具(13)两侧,两端板(7)之间设有连接杆(6),在连接杆(6)上通过可拆卸结构连接有插条(4)。
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