[实用新型]多线锯切割后硅片脱胶保护装置

权利要求书

1、一种多线锯切割后硅片脱胶保护装置，它主要包括硅片固定夹具(13)，硅片固定夹具(13)底部设有连接板(12)，连接板(12)与钢板(8)配合连接，硅片固定夹具(13)两侧是端板(7)，端板(7)与底部的连接板(12)固定连接，其特征是在硅片固定夹具(13)两侧，两端板(7)之间设有连接杆(6)，在连接杆(6)上通过可拆卸结构连接有插条(4)。

2、根据权利要求1所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的可拆卸结构是由均布在连接杆(6)上的凹槽(15)和与之配合的设置在插条(4)上的开口槽组成的，其所述的插条(4)的一端的开口槽为U型开口槽(1)，另一端的开口槽为折角型向下开口槽(2)，在折角型向下开口槽(2)上设有圆孔槽(3)。

3、根据权利要求2所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的凹槽(15)的直径比插条(4)上的圆孔槽(3)的直径小0.5～1毫米，凹槽(15)宽度比插条厚度大0.5～1毫米，凹槽(15)之间的间距为5毫米。

4、根据权利要求1或2或3所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的连接杆(6)上至少均布有两条插条(4)厚度为1～1.5mm。

5、根据权利要求1或2或3所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)以间距为4厘米均布在连接杆(6)上。

6、根据权利要求4所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)以间距为4厘米均布在连接杆(6)上。

7、根据权利要求1或2或3所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。

8、根据权利要求4所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。

9、根据权利要求5所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。

10、根据权利要求6所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。