[实用新型]多晶硅坩埚平台支撑机构无效
申请号: | 200820152970.3 | 申请日: | 2008-09-11 |
公开(公告)号: | CN201206103Y | 公开(公告)日: | 2009-03-11 |
发明(设计)人: | 史珺;宗卫峰 | 申请(专利权)人: | 上海普罗新能源有限公司 |
主分类号: | C01B33/02 | 分类号: | C01B33/02 |
代理公司: | 北京必浩得专利代理事务所 | 代理人: | 李梦福 |
地址: | 201300上海市南*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型属于结晶炉或精炼炉等热处理和熔炼设备领域,特别涉及一种在材料结晶或者熔炼铸锭及材料提纯时防止坩埚平台热疲劳与热损伤的多晶硅坩埚平台支撑机构。所述多晶硅坩埚平台支撑机构,由一个不锈钢平台和多个上支撑柱及多个下支撑柱组成;不锈钢平台上设有网眼,使得温度变化时的形变可以被削弱;上支撑连接在不锈钢平台的上面,下支撑连接在不锈钢平台的下面;上支撑柱的顶端固定在石墨平台底部,下支撑柱的底端固接在炉底上。本实用新型可以消除石墨平台与炉底之间产生的应力,而且在石墨平台发生膨胀或收缩时可以保证坩埚的中心位置不变,从而使任何膨胀或冷却都不会影响坩埚内的硅料内部的温度场的对称性,保证铸锭和定向凝固质量。 | ||
搜索关键词: | 多晶 坩埚 平台 支撑 机构 | ||
【主权项】:
1. 一种多晶硅坩埚平台支撑机构,其特征在于:所述多晶硅坩埚平台支撑机构,由一个不锈钢平台和多个上支撑柱及多个下支撑柱组成;不锈钢平台上设有网眼,使得温度变化时的形变可以被削弱;上支撑连接在不锈钢平台的上面,下支撑连接在不锈钢平台的下面;上支撑柱的顶端固定在石墨平台底部,下支撑柱的底端固接在炉底上。
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