[实用新型]多晶硅坩埚平台支撑机构

权利要求书

1.一种多晶硅坩埚平台支撑机构，其特征在于：所述多晶硅坩埚平台支撑机构，由一个不锈钢平台和多个上支撑柱及多个下支撑柱组成；不锈钢平台上设有网眼，使得温度变化时的形变可以被削弱；上支撑连接在不锈钢平台的上面，下支撑连接在不锈钢平台的下面；上支撑柱的顶端固定在石墨平台底部，下支撑柱的底端固接在炉底上。

2.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚平台支撑机构，其特征在于：所述上支撑柱采用活动的腰形孔方式连接在不锈钢平台的上面，下支撑柱采用活动的腰形孔方式连接在不锈钢平台的下面；上支撑柱的顶端采用销孔的方式连接在石墨平台底部，下支撑柱的底端采用焊接方式固接在炉底上。

3.根据权利要求2所述的多晶硅坩埚平台支撑机构，其特征在于：所述活动的腰形孔方式，是在不锈钢平台表面开设腰形盲孔，腰形盲孔的两端为不小于支撑柱直径的半圆，中间为矩形，支撑柱设于腰形盲孔内。

4.根据权利要求2所述的多晶硅坩埚平台支撑机构，其特征在于：所述活动的销孔方式，是在石墨平台的表面固定设置有销柱，销柱上开有大于上支撑柱直径的半通孔，上支撑柱设于半通孔内；所述半通孔可以是圆形的，也可以是腰形盲孔。

5.根据权利要求3所述的多晶硅坩埚平台支撑机构，所述腰形盲孔的长度方向均沿不锈钢平台中心向外的径向。

6.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚平台支撑机构，其特征在于：所述上支撑柱和上支撑柱的数量，分别为3-24个；或者大于24个。

7.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚平台支撑机构，其特征在于：所述上支撑柱和下支撑柱，均沿平台的平面按对称分布，对称的形状可以是圆形或正多边形。

8.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚平台支撑机构，其特征在于：所述上支撑柱的位置与下支撑柱的位置是错开的。